開発統括部Development Dept.
開発統括部では、当社がこれまでに培った化合物半導体向けCVD装置の設計技術や品質管理技術を活かし、イノベーション戦略によって事業拡大を目指す新たな開発製品やガスソリューション製品の設計・エンジニアリング業務を行っています。また、次期商品開発に向けた積極的な技術支援やアフターサービス向上にも取り組んでいます。
製品紹介
半導体用ドライアイス洗浄装置
微細なドライアイス粒子を対象物に噴射する乾式の洗浄装置です。ドライアイスが気体に昇華する際の体積膨張を利用して、付着物を除去します。乾燥工程や廃液処理が不要であり、対象物を傷つけないことからも、環境負荷を抑えた装置として注目を浴びています。
特に半導体用途ではウェハの帯電がデバイスに影響を与えるため、除電システムを組み込んでいるのも特長の一つです。
ガスソリューション関連商材
開発プロセスで得られた新たな知見や技術の応用と当社独自の設計・エンジニアリング力により、エレクトロニクス分野や環境分野における各種ガス供給設備やガス回収装置など、新たなガスソリューション設備の商品化を進めています。これらの早期市場投入は産業拡大が期待されます。
AM造形技術関連商材
金属積層造形の品質や安定性向上の実現化に貢献するガスソリューション機器に関して、エンジニアリングやメンテナンス業務を行っています。PBF式金属3Dプリンター内の雰囲気ガス不純物を低減し、造形品質の向上・安定を実現する循環精製システムPrintPure™をはじめ、金属3Dプリンターで使用する金属粉末を最適な状態で保管できる金属粉末乾燥保管キャビネットなど、最適な金属AMを実現する独自のソリューション機器を取り扱っています。
TNSCイノベーション
センターひびきの
北九州市の技術開発交流センター内に開設した、大陽日酸株式会社の取り扱う先端設備を設置した体験型ショールームです。施設の運営を大陽日酸ATI が担っています。
この施設では、実際の設備を見るだけでなく、デモ運転で使用することにより、装置性能などを確認できます。また、学生の研究テーマの実施に設置した設備を活用することも可能です。
